Datei:Ty-LithographyAndPatternTransferByEtching-de.svg
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| aktuell | 17:06, 16. Dez. 2007 | 953×589 (28 KB) | File Upload Bot (DrTorstenHenning) | ( {{Information| |Description={{de|Mikrostrukturierung: Strukturdefinition in einer Resistmaskierung mit (Foto-) Lithografie und Strukturübertragung in eine Funktionsschicht mittels (nicht-anisotropen) Ätzens}} |Source=drawn by [[User:DrTorstenHe) |
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