Horde (Halbleitertechnik)

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Eine Horde (häufig auch Los, englisch: lot) ist in der Halbleitertechnik eine bestimmte Anzahl von Siliziumscheiben (Wafer), die in einer dazu bestimmten speziellen Kunststoffverpackung (Wafer-Carrier) zwischengelagert, über kurze Entfernungen innerhalb des Halbleiterfertigungsprozesses transportiert und in einem Fertigungsschritt gemeinsam gleichzeitig oder nacheinander bearbeitet werden. Dabei bilden eine oder mehrere Horden ein Fertigungslos.

Die Anzahl der Wafer pro Horde ist u. a. vom Durchmesser der Siliziumscheiben abhängig. In der industriellen Ferttigung (Wafer mit Durchmessern von 100 mm bis 300 mm) besteht eine Horde meist aus 25 Wafern. Wafer einer Horde sind (in der Regel) aus demselben Siliziumeinkristall geschnitten, dies soll in etwa gleiche physikalisch-chemische Eigenschaften wie z. B. Reinheit, Kristall- und Oberflächenstruktur sicherstellen.

Maschinen, die die Wafer nach einem Bearbeitungs- oder Fertigungsschritt einzeln nacheinander oder gemeinsam miteinander in der dazugehörigen Verpackung ablegen, werden als Einhorder bezeichnet.

Entsprechend heißen Maschinen, die Wafer aus einer Verpackung in eine andere umpacken, Umhorder.