Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
| Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien | |
|---|---|
| Kategorie: | Forschungseinrichtung |
| Träger: | Fraunhofer-Gesellschaft |
| Rechtsform des Trägers: | Eingetragener Verein |
| Sitz des Trägers: | München |
| Standort der Einrichtung: | Dresden |
| Art der Forschung: | Angewandte Forschung |
| Fächer: | Ingenieurwissenschaften |
| Fachgebiete: | Halbleitertechnologie |
| Grundfinanzierung: | Bund (90 %), Länder (10 %) |
| Leitung: | Hubert Lakner |
| Anmerkung: | Public Private Partnership |
| Homepage: | www.ipms.fraunhofer.de |
Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer IPMS-CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Das Fraunhofer IPMS-CNT arbeitet mit verschiedenen Industriepartnern, wie beispielsweise dem lokal ansässigen Halbleiterhersteller Globalfoundries am Standort Dresden zusammen. Als selbstständige Einrichtung betreibt das Fraunhofer IPMS-CNT 800 m² Reinraumflächen (Reinraumklasse 1000) sowie zusätzlich 170 m² Laborflächen. Dadurch ist es möglich fertigungsnahe Lösungsansätze für 300-mm-Wafer-Prozessierung zu entwickeln, welche direkt in der Industrie umgesetzt werden können, mit dem Ziel Herstellungskosten und -zeit zu optimieren.
Das Fraunhofer IPMS-CNT, welches am 31. Mai 2005 eröffnet wurde, ist seit 2014 eines von fünf Geschäftsfeldern des Fraunhofer IPMS [1] und ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE), dem elf Fraunhofer-Institute angehören.
Forschungsschwerpunkte – ausgewählte Beispiele
Die Forschungsarbeiten im Fraunhofer IPMS-CNT werden in vier Kompetenzbereichen durchgeführt. In den entsprechenden Arbeitsgruppen bündelt sich das Wissen und technische Know-how der Wissenschaftler aus Industrie und Forschungseinrichtungen.
- Neue Materialien – Entwicklung und testen neuer Materialkombinationen und Schichtsysteme hinsichtlich bestimmter und vorgegebenen Eigenschaften
- Metrologie und Analytik – Screening neuer Methoden sowie Bestimmung von Schichtparametern und Eigenschaften in der Fertigungslinie (inline) als auch im Labor anhand von vollständigen Wafern sowie an Bruchstücken.
- Innovative Prozesslösungen – Forschung und Entwicklung neuer Wege zur Umsetzung der Forschungsergebnisse in der Fertigung, ebenso anhand neuer Prozesstools.
- Schreiben von Teststukturen – Überprüfung der Funktionalität der Innovationen am Endprodukt.