Wolframdisilicid

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Kristallstruktur
Keine Zeichnung vorhanden
Allgemeines
Name Wolframdisilicid
Andere Namen

Wolframsilicid (mehrdeutig)

Verhältnisformel WSi2
CAS-Nummer 12039-88-2
PubChem 16212546
Kurzbeschreibung

blau grauer Feststoff[1]

Eigenschaften
Molare Masse 240,01 g·mol−1
Aggregatzustand

fest[2]

Dichte

9,3 g·cm−3[1]

Schmelzpunkt

2160 °C[1]

Löslichkeit

unlöslich in Wasser[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [2]
keine GHS-Piktogramme
H- und P-Sätze H: keine H-Sätze
P: keine P-Sätze
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Vorlage:Infobox Chemikalie/Summenformelsuche vorhanden

Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W5Si3 (CAS: 12039-95-1).

Gewinnung und Darstellung[Bearbeiten]

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.[3]

\mathrm{2 \ SiH_4 + WF_6 \longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF + H_2}
\mathrm{2 \ SiH_2Cl_2 + WF_6 + 3 \ H_2\longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF + 2 \ HCl}
\mathrm{Si_2H_6 + WF_6 \longrightarrow WSi_2 + 6 \ HF}

Eigenschaften[Bearbeiten]

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.[1] Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid[4] bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm.[5]

Verwendung[Bearbeiten]

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per CVD abgeschieden.[6][7]

Einzelnachweise[Bearbeiten]

  1. a b c d e  W. M. Haynes (Hrsg.): CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data. begründet von David R. Lide. 93. Auflage. CRC Press, Boca Raton 2012, ISBN 978-1-4398-8049-4, S. 4-96 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  2. a b c Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 12. Oktober 2012 (PDF).
  3.  Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology .... William Andrew, 1999, ISBN 0815517432, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  4.  Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3110202689, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  5.  Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 354044376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  6.  Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3835102230, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
  7.  R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0792301544, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).