Massendurchflussregler

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Ein Massendurchflussregler (Mass flow controller, MFC) ist ein Gerät, mit dem ein Massenstrom auf einen Sollwert geregelt wird. Für jedes Fluid müssen eigene Kalibrierdaten geladen werden, was über eine Programmierschnittstelle geschieht. Neben einem Massendurchflussmesser (MFM) enthält ein MFC einen programmierbaren Regler und ein Proportionalventil. Gängige verwendete Messaufnehmer für diese Regler sind der kalorimetrische Durchflussmesser sowie der Coriolis-Massendurchflussmesser.

Blockschaltbild für einen MFC

Literatur[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

  • Gerhard Vetter (Hrsg.):Handbuch Dosieren. 2. Auflage, Vulkan Verlag, Essen 2001, ISBN 3-8027-2199-3.
  • Gerhard Wiegleb:Gasmesstechnik in Theorie und Praxis. Springer Fachmedien, Wiesbaden 2016, ISBN 978-3-658-10686-7.

Siehe auch[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Weblinks[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]