Diskussion:Massendurchflussregler
Letzter Kommentar: vor 8 Jahren von 95.168.128.192 in Abschnitt Elektrischer Anschluss
Elektrischer Anschluss[Quelltext bearbeiten]
So wie's aussieht haben die meisten technischen Massenflussregler (für Halbleiterbearbeitung) folgende Anschlüsse:
- Sollwert 0..5 V, hochohmiger Eingang im MOhm-Bereich
- Istwert 0..5 V, Ausgang im 1-kOhm-Bereich
- Versorgung +15 V, einige 10 mA
- Versorgung -15 V, um 100 mA (scheint wohl das Proportionalventil zu steuern)
- Masse
Im Innern werkelt dann reine Analogtechnik.
Alternative Analogsignalisierungen sind 0..10 V, 0..20 mA oder 4..20 mA. Weitere Anschlüsse können eine Notsperrvorrichtung und/oder die Nullpunktkalibrierung steuern.
Modernere Massenflussregler enthalten einen Mikrocontroller mit A/D- und D/A-Wandlung, Skalierung und einen Industrie-Feldbusanschluss oder zumindest RS232.