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- Haftvermittler wie Hexamethyldisilazan (HMDS) behandelt. Des Weiteren kommen Hilfsschichten zur Reduzierung von Reflexionen und stehenden Wellen (Antireflexionsschicht)…43 KB (4.934 Wörter) - 08:29, 15. Mai 2024
- strukturierende Schicht, z. B. Polysilizium für spätere Gate-Elektroden, als auch Hilfsschichten, die als Hartmasken dienen, sein. Als Ergebnis dieser Folge aus Belichtung…32 KB (3.445 Wörter) - 23:27, 30. Nov. 2023