Vakuumflansch

aus Wikipedia, der freien Enzyklopädie
Zur Navigation springen Zur Suche springen

Vakuumflansche dienen der lösbaren Verbindung zwischen Vakuumbehältern und Komponenten. Je nach Anforderung bezüglich Dichtigkeit, Ausheizbarkeit, Stabilität, Korrosionsfestigkeit und Durchmesser stehen verschiedene, teilweise genormte Flansche zur Verfügung.

Arten von Flanschen[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Kleinflansche[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Kleinflansch T-Stück mit O-Ring und Spannring
Kleinflansch und Klammerflansch

Kleinflansch-Schnellverbindungen (ISO-KF oder einfach nur KF) sind in den Nennweiten 10, 16, 20, 25, 32, 40 und 50 erhältlich und die am häufigsten eingesetzten Verbindungen im Grob- und Feinvakuumbereich. Die Nennweiten 10, 16, 25 und 40 sind die sogenannten Vorzugsnennweiten gemäß ISO-Empfehlung. Die Abmessungen sind in der DIN 28403 und ISO 2861 festgelegt.[1] Die beiden zu verbindenden Kleinflansche haben ebene Dichtflächen und konische Flanschflanken. Zwischen den Dichtflächen wird ein O-Ring mit Zentrierring platziert und die Flansche durch eine Spannkette, einen Spannring oder Schnellspannring zusammengepresst. Als Dichtungsmaterial kommt meistens ein Elastomer wie NBR (Perbunan), FKM (Viton) oder FFKM (Kalrez) zum Einsatz, seltener auch Neopren, MVQ oder EPDM. Für besondere Anforderungen können auch Kantendichtungen aus PTFE oder aus Aluminium eingesetzt werden. Kleinflanschverbindungen mit Elastomerdichtungen sind einsetzbar bis ins Hochvakuum, die üblicherweise spezifizierte Leckrate ist 1·10−9 mbar·l/s. Der Einsatzdruckbereich wird begrenzt durch die verhältnismäßig hohe Gaspermeation durch die Elastomerwerkstoffe.

Eine Auswahl üblicher KF-Flanschgrößen (alle Angaben in mm):

Nennweite DN10 DN16 DN20 DN25 DN32 DN40 DN50
Außendurchmesser 30,0 30,0 40,0 40,0 55,0 55,0 75,0

ISO- Klammerflansche und ISO-Festflansche[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Klammerflansch-Verbindungen (ISO-K) werden ähnlich wie KF-Verbindungen eingesetzt, hier wird jedoch der Kraftschluss zwischen den Flanschen und die Verpressung der Elastomer-O-Ring-Dichtung durch Klammerschrauben erreicht. Sie werden für größere Nennweiten als KF verwendet und sind bei Verwendung entsprechender Überwurfflansche kompatibel zu den ISO-Festflanschen (ISO-F). Bei den ISO-Festflanschen erfolgt die Montage mittels Schrauben und Muttern. Die Abmessungen der ISO-Flansche sind in der DIN 28404 und der ISO 1609 festgelegt, genormt sind Flanschgrößen von DN63 bis DN1000.[2]

Eine Auswahl üblicher ISO-K-Flanschgrößen (alle Angaben in mm):

Nennweite DN63 DN80 DN100 DN160 DN200 DN250
Außendurchmesser 95,0 110,0 130,0 180,0 240,0 290,0

CF-Flansche[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Rohrstück mit CF-Verbindern, Kupferdichtring und Blindflansch

CF-Flansche sind gemäß der ISO 3669:2017[3] genormt. Die Bezeichnung entspringt der eingetragenen Marke „ConFlat“ der Firma Varian, Inc. Die Flansch-Art wird inzwischen jedoch von fast allen Herstellern weltweit unter der Bezeichnung „CF“ geführt. Sie werden für Verbindungen von Ultrahochvakuum(UHV)-Bauteilen genutzt. Die Flansche bestehen aus Edelstahl oder Aluminium, das Dichtmaterial ist meist sauerstofffreies, hochreines Kupfer. Die Flansche sind mit Schneidkanten versehen, die beim Anziehen der Verbindung ein Stück in das Dichtmaterial hineingepresst werden und hierdurch abdichten. Metallische Dichtringe können durch die bleibende Verformung nur einmal eingesetzt werden. Für provisorische Aufbauten können jedoch auch Elastomerdichtungen eingesetzt werden. Vorteil der CF-Verbindungen ist die hohe Ausheizbarkeit bis 450 °C sowie die extrem niedrige Leckrate von 1·10−11 mbar·l/s.

Eine Auswahl üblicher CF-Flanschgrößen (alle Angaben in mm):

Nennweite DN10 DN16 DN25 DN40 DN50 DN63 DN75 DN100 DN125 DN160 DN200 DN250 DN275 DN300 DN350 DN400
Außendurchmesser 25,0 33,8 54,0 69,9 85,7 114,3 117,4 152,4 171,5 203,2 254,0 304,8 336,6 368,3 419,1 469,9
Typische Rohrgröße 12x1 19x1,5 unüblich 41x1,5 unüblich 70x2 unüblich 104x2 unüblich 154x2 204x2 254x2 unüblich 306x3 350x3 400x3
Flanschdicke 6,0 7,0 11,5 12,5 16,0 17,0 17,5 19,5 21,0 21,0 24,0 24,0 28,0 28,0 28,0 28,0
Schrauben 6xM3 6xM4 4xM6 6xM6 8xM8 8xM8 10xM8 16xM8 18xM8 20xM8 24xM8 32xM8 30xM8 32xM10 36xM10 40xM10
Lochkreis 17,5 27,0 41,3 58,7 72,4 92,2 102,3 130,3 151,6 181,0 231,8 284,0 306,3 338,1 388,9 437,9
entspricht zölliger Größe

nach ASTM E2734

1"OD 1.33"OD 2.125"OD 2.75"OD 3.375"OD 4.5"OD 4.625"OD 6"OD 6.75"OD 8"OD 10"OD 12"OD 13.25"OD 14.5"OD

(305CF)

16.5"OD

(nicht kompatibel)

18.5"OD

(405CF)

Quick-CF-Flansche[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Schnell montierbare QCF-Flansche vereinen das Montageprinzip der konischen KF-Flansche mit dem Dichtprinzip der CF-Flansche. Sie verwenden die standardisierten Kupferflachdichtungen des CF-Flanschsystems, die Dichtflächen der Flansche sind ebenfalls mit Schneidkanten, wie in der ISO 3669:2017 beschrieben, versehen. Der Kraftschluss zum Montieren der Flansche wird nicht wie bei CF-Flanschen durch Schrauben, sondern über eine zugehörige Spannkette erzeugt.

Durchführungen[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Eine häufig genutzte Art des (Blind-)Flansches ist die Durchführung. Diese dient dem Aufbau verschiedener, für den Prozess oder das Experiment nötiger Verbindungen wie Spannungsversorgung, Versorgung mit Gasen, Kühlflüssigkeiten, der Durchführung von Messsignalen aus dem Vakuumgefäß oder der mechanischen Manipulation von Aufbauten im Vakuum.

Einzelnachweise[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

  1. Jobst H. Kerspe und 7 Mitautoren: Vakuumtechnik in der industriellen Praxis (= Kontakt & Studium. Bd. 204). 3., völlig überarbeitete und erweiterte Auflage. expert verlag, Renningen 2003, ISBN 3-8169-2196-5, S. 297.
  2. Jobst H. Kerspe und 7 Mitautoren: Vakuumtechnik in der industriellen Praxis (= Kontakt & Studium. Bd. 204). 3., völlig überarbeitete und erweiterte Auflage. expert verlag, Renningen 2003, ISBN 3-8169-2196-5, S. 299.
  3. International Organization for Standardisation (Hrsg.): ISO 3669:2017 - Vacuum technology - Bakeable flanges - Dimensions of knife-edge flanges. August 2017.