Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme

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Fraunhofer-Institut für
Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Fraunhofer-Institut fürMikroelektronische Schaltungen und Systeme
Das Fraunhofer IMS
Kategorie: Forschungseinrichtung
Träger: Fraunhofer-Gesellschaft
Rechtsform des Trägers: Eingetragener Verein
Sitz des Trägers: München
Standort der Einrichtung: Duisburg
Art der Forschung: Angewandte Forschung
Fächer: Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften
Fachgebiete: Mikroelektronik
Grundfinanzierung: Bund (90 %), Länder (10 %)
Leitung: Anton Grabmaier[1]
Mitarbeiter: ca. 250
Homepage: www.ims.fraunhofer.de
Luftbild des Fraunhofer-Instituts, Duisburg
Das Fraunhofer IMS von dem Universitätscampus aus gesehen
Neuer Trakt des Fraunhofer IMS

Das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS) ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft. Das Institut hat seinen Sitz in Duisburg, seine Aktivitäten sind der angewandten Forschung und Entwicklung im Fach Mikroelektronik zuzuordnen. Fraunhofer IMS ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE), dem zehn Fraunhofer-Institute angehören.

Geschichte[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Das Institut wurde im Jahr 1984 gegründet. Heute zählt es zu den führenden Instituten für angewandte Forschung und Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik. Bis Ende 2001 hatte Fraunhofer IMS einen Institutsteil in München, der am 1. Januar 2002 an das Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) überging.

Forschung und Entwicklung[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Das Institut deckt in den Bereichen Bauelemente und Technologie, Sensorik und Mikrosystemtechnik, Schaltungsentwurf und System- und Anwendungstechnik, sowie CAD und Test als einziges Mikroelektronikinstitut in Deutschland das skizzierte Potential der Mikroelektronik in der gesamten Breite ab.

Die Arbeitsfelder gliedern sich in

  • CMOS Bildsensoren und Photodetektoren
    Die Anwendungen decken verschiedene Felder ab, z. B. Multimedia, Automotive, Industrie- und Gebäudeautomatisierung, Robotik, Umweltschutz, Medizin.
  • drahtlose ICs/drahtlose Kommunikationssysteme
    Hier sind die Themenschwerpunkte: Nachrichtentechnische und Mikroelektronische Systemkonzepte zur Produktentwicklung, -fertigung und -inbetriebnahme.
  • Embedded Systems
    Eingebettete Hard- und Softwaresysteme, z. B. Gateways, Transponder-Basis-Stationen, aber auch für andere Produkte mit eingebetteter technischer Intelligenz.
  • Fertigung von Wafern, CMOS-Prozesse und IC-Design
    Basierend auf der CMOS-Technologie werden anwendungsspezifische Prozesse entwickelt. CMOS-Prozessschritte werden genutzt zur Herstellung von Silizium-Sensoren und Leistungsbauelementen. Sonderprozesse zur Herstellung von MST-Bauelementen (Sensoren) werden in den CMOS-Prozess integriert.
  • Hochtemperatur-Chips und EEPROM-Anwendungen
    Ein Hochtemperatur-CMOS-Prozess für bis zu 250 °C auf SOI-Substrat ist ebenfalls verfügbar. Die EEPROM-Anwendungen reichen von der Speicherung von Kalibrier- und Identifikationsdaten bis zum größeren Speicher-Array für Meßdatenlogger.
  • Intelligentes Wohnen und Inhaus
  • Sensorik und Sensorsignalverarbeitung
    Entwicklung von Absolut- und Differenzdrucksensoren unter Einsatz der Silizium-Mikromechanik, einschließlich Drucksensoren für Hochdruck- oder Hochtemperaturanwendungen.
  • Transponder und Smart Label
    SmartCards, SmartLabels und Schlüssel für Wegfahrsperren sind bekannte Beispiele der Transpondertechnik.

Das Institut verfügt über einen 1.600 m² großen Reinraum der Klasse 10. Hier können jährlich über 80.000 Wafer produziert werden. Im Reinraum arbeiten 120 Personen in drei Schichten an sieben Tagen in der Woche. Für die CMOS-Pilotfertigung kooperiert das IMS eng mit der Firma Elmos.

Infrastruktur[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Im Institut sind ca. 250 Personen beschäftigt.

Der Betriebshaushalt lag im Geschäftsjahr 2009 bei 18 Millionen Euro (2006: 15 Millionen Euro). Diese kamen zu 15 % aus der Grundfinanzierung, welche zu 90 % aus Bundesmitteln und zu 10 % aus Landesmitteln finanziert wird. Die Drittmittelquote lag in dem Jahr bei rund 85 %, davon kamen rund 60 % aus der Auftragsforschung der Wirtschaft und rund 40 % aus zweckgebundenen Mitteln des Bundes und der Länder (im Wesentlichen Projektförderung, siehe Zuwendung).

Das Institut wird seit 2006 von Anton Grabmaier geleitet. Seit der Gründung bis zum Jahr 2005 leitete Günter Zimmer das Institut.

Weblinks[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

Fußnoten[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]