„Wolframdisilicid“ – Versionsunterschied
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Wolframdisilicid kann durch Reaktion von [[Monosilan]], [[Dichlorsilan]] oder [[Disilan]] mit [[Wolframhexafluorid]] gewonnen werden.<ref name="Hugh O. Pierson">{{Literatur | Autor = Hugh O. Pierson | Titel = Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... | Verlag = William Andrew | ISBN = |
Wolframdisilicid kann durch Reaktion von [[Monosilan]], [[Dichlorsilan]] oder [[Disilan]] mit [[Wolframhexafluorid]] gewonnen werden.<ref name="Hugh O. Pierson">{{Literatur | Autor = Hugh O. Pierson | Titel = Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... | Verlag = William Andrew | ISBN = 0815517432 | Jahr = 1999 | Online = {{Google Buch | BuchID = GIsa4vuJgcUC | Seite = 332 }} | Seiten = 332 }}</ref> |
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Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.<ref name="CRC">{{Literatur | Autor = David R. Lide |
Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.<ref name="CRC">{{Literatur | Autor = David R. Lide | Titel = CRC Handbook of Chemistry and Physics | Verlag = CRC Press | ISBN = 1439880492 | Jahr = 2012 | Online = {{Google Buch | BuchID = -BzP7Rkl7WkC | Seite = -96 }} | Seiten = 4-96 }}</ref> Er besitzt eine tetragonale [[Kristallstruktur]] vom [[Calciumcarbid]]<!-- wieso CaC2 zweimal in der Liste im Buch ??? --><ref name="Peter Paetzold">{{Literatur | Autor = Peter Paetzold | Titel = Chemie: Eine Einführung | Verlag = Walter de Gruyter | ISBN = 3110202689 | Jahr = 2010 | Online = {{Google Buch | BuchID = z19ANt90v0UC | Seite = 199 }} | Seiten = 199 }}</ref> bzw. [[Molybdändisilicid]]-Typ mit der [[Raumgruppe]] I4/''mmm''.<ref name="Werner Martienssen, Hans Warlimont">{{Literatur | Autor = Werner Martienssen, Hans Warlimont | Titel = Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data | Verlag = Springer | ISBN = 354044376-2 | Jahr = 2005 | Online = {{Google Buch | BuchID = TnHJX79b3RwC | Seite = 474 }} | Seiten = 474 }}</ref> |
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Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per [[Chemische Gasphasenabscheidung|CVD]] abgeschieden.<ref name="Horst Briehl">{{Literatur | Autor = Horst Briehl | Titel = Chemie der Werkstoffe | Verlag = Springer | ISBN = |
Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per [[Chemische Gasphasenabscheidung|CVD]] abgeschieden.<ref name="Horst Briehl">{{Literatur | Autor = Horst Briehl | Titel = Chemie der Werkstoffe | Verlag = Springer | ISBN = 3835102230 | Jahr = 2007 | Online = {{Google Buch | BuchID = GH91Edr5pdIC | Seite = 255 }} | Seiten = 255 }}</ref><ref name="R. A. Levy">{{Literatur | Autor = R. A. Levy | Titel = Microelectronic Materials and Processes | Verlag = Springer | ISBN = 0792301544 | Jahr = 1989 | Online = {{Google Buch | BuchID = wZPRPU6ne7UC | Seite = 204 }} | Seiten = 204, 237 f.}}</ref> |
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== Einzelnachweise == |
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Version vom 23. Oktober 2013, 20:27 Uhr
| Kristallstruktur | ||||||||||
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| Keine Zeichnung vorhanden | ||||||||||
| Allgemeines | ||||||||||
| Name | Wolframdisilicid | |||||||||
| Andere Namen |
Wolframsilicid (mehrdeutig) | |||||||||
| Verhältnisformel | WSi2 | |||||||||
| Kurzbeschreibung |
blau grauer Feststoff[1] | |||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||
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| Eigenschaften | ||||||||||
| Molare Masse | 240,01 g·mol−1 | |||||||||
| Aggregatzustand |
fest[2] | |||||||||
| Dichte |
9,3 g·cm−3[1] | |||||||||
| Schmelzpunkt | ||||||||||
| Löslichkeit |
unlöslich in Wasser[1] | |||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||
| ||||||||||
| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa). | ||||||||||
Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W5Si3 (CAS: 12039-95-1).
Gewinnung und Darstellung
Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.[3]
Eigenschaften
Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist.[1] Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid[4] bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm.[5]
Verwendung
Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per CVD abgeschieden.[6][7]
Einzelnachweise
- ↑ a b c d e David R. Lide: CRC Handbook of Chemistry and Physics. CRC Press, 2012, ISBN 1-4398-8049-2, S. 4–96 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ a b c Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich (PDF).
- ↑ Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).