Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien

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Fraunhofer-Center
Nanoelektronische Technologien
Kategorie: Forschungseinrichtung
Träger: Fraunhofer-Gesellschaft
Rechtsform des Trägers: Eingetragener Verein
Sitz des Trägers: München
Mitgliedschaft: Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik
Standort der Einrichtung: Dresden
Art der Forschung: Angewandte Forschung
Fächer: Ingenieurwissenschaften
Fachgebiete: Halbleitertechnologie
Grundfinanzierung: Bund (90 %), Länder (10 %)
Leitung: Hubert Lakner
Mitarbeiter: 60 (von insgesamt 330)
Homepage: ipms.fraunhofer.de

Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer IPMS-CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft. Als eines von fünf Geschäftsfeldern des Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS betreibt das Fraunhofer IPMS-CNT einen 800 m² Reinraum (Reinraumklasse 1000) mit Prozessanlagen für Atomlagenabscheidung, Chemisch-mechanisches Polieren, Kupfer-Plattieren und Elektronenstrahllithografie (E-Beam) auf 300 mm Wafergrößen. Neue Materialien, Anlagen und Prozesse werden am Fraunhofer IPMS-CNT unter Industriebedingungen getestet und für die Halbleiterfertigung qualifiziert.

Das Center Nanoelektronische Technologien wurde am 31. Mai 2005 als Öffentlich-private Partnerschaft mit AMD und Infineon als eigenständige Einrichtung gegründet und am 1. Januar 2013 dem Fraunhofer IPMS angeschlossen.[1] Das Fraunhofer IPMS ist Mitglied in zahlreichen Forschungsnetzwerken, unter anderem dem Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE).

Forschungsschwerpunkte[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

  • Entwicklung neuer Materialien und Schichtsysteme für den Einsatz in der Halbleiterleiterfertigung
  • Metrologie und Analytik – Screening von Verbrauchsmitteln und Bestimmung von Schichtparametern und Eigenschaften in der Fertigungslinie (inline) und im Labor
  • Prozess- und Technologieintegration zur Umsetzung von Forschungsergebnissen in die Fertigung:

Einzelnachweise[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten]

  1. Jahresbericht IPMS (PDF)