Trichlorfluorsilan

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Strukturformel
Strukturformel von Trichlorfluorsilan
Allgemeines
Name Trichlorfluorsilan
Andere Namen

Siliciumtrichloridfluorid

Summenformel SiCl3F
CAS-Nummer 14965-52-7
PubChem 139862
Kurzbeschreibung

farbloses Gas[1]

Eigenschaften
Molare Masse 153,43 g·mol−1
Aggregatzustand

gasförmig[1]

Schmelzpunkt

−121 °C[1]

Siedepunkt

12 °C[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [2]
keine Einstufung verfügbar
H- und P-Sätze H: siehe oben
P: siehe oben
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Vorlage:Infobox Chemikalie/Summenformelsuche vorhanden

Trichlorfluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung des Siliciums aus der Gruppe der Siliciumtetrahalogenide.

Gewinnung und Darstellung[Bearbeiten]

Trichlorfluorsilan (wie auch andere Fluorchlorsilane) kann durch Reaktion von Natriumhexafluorosilikat und Aluminiumchlorid oder durch Halogenaustausch in Siliciumtetrachlorid mit Antimon(III)-fluorid und Antimon(V)-chlorid als Katalysator gewonnen werden.[1]

Eigenschaften[Bearbeiten]

Trichlorfluorsilan ist ein farbloses, sehr hydrolyseempfindliches Gas.[1]

Verwendung[Bearbeiten]

Trichlorfluorsilan kann in der Halbleiterindustrie zur Abscheidung von Siliciumschichten verwendet werden.[3]

Einzelnachweise[Bearbeiten]

  1. a b c d e f  Georg Brauer: Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie. 3., umgearb. Auflage. Band I, Enke, Stuttgart 1975, ISBN 3-432-02328-6, S. 679.
  2. Diese Substanz wurde in Bezug auf ihre Gefährlichkeit entweder noch nicht eingestuft oder eine verlässliche und zitierfähige Quelle hierzu wurde noch nicht gefunden.
  3. Google Patente: Patent US7030260 - Preparation of mixed-halogen halo-silanes - Google Patente, abgerufen am Sonntag, 5. Januar 2014