„Mikrosystem (Technik)“ – Versionsunterschied

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Ein '''Mikrosystem''' ist ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen im Bereich von 1 [[Meter#Mikrometer|Mikrometer]] haben und als System zusammenwirken.<ref>{{Literatur |Autor=Jan G. Korvink, Oliver Paul |Titel=MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications |Verlag=Springer Berlin Heidelberg |Ort=Berlin, Heidelberg |Datum=2006 |Sprache=en |ISBN=3-540-21117-9 |DOI=10.1007/978-3-540-33655-6 |Online=https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-540-33655-6 |Abruf=2022-12-06}}</ref>
Ein '''Mikrosystem''' ({{EnS|Microsystem}} oder '''MEMS''') ist ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen im Bereich von 1 [[Meter#Mikrometer|Mikrometer]] haben und als System zusammenwirken.<ref>{{Literatur |Autor=Jan G. Korvink, Oliver Paul |Titel=MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications |Verlag=Springer Berlin Heidelberg |Ort=Berlin, Heidelberg |Datum=2006 |Sprache=en |ISBN=3-540-21117-9 |DOI=10.1007/978-3-540-33655-6 |Online=https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-540-33655-6 |Abruf=2022-12-06}}</ref>


[[Datei:Bug 1c.jpg|mini|Größenvergleich zwischen einer [[Milben|Milbe]] und einem Mikrosystem. Ohne Skala.]]
[[Datei:Bug 1c.jpg|mini|Größenvergleich zwischen einer [[Milben|Milbe]] und einem Mikrosystem. Ohne Skala.]]


Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren [[Sensor]]en, [[Aktor]]en und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. [[die (Halbleitertechnik)|Chip]].<ref>{{Literatur |Autor=James B. Angell, Stephen C. Terry, Phillip W. Barth |Titel=Silicon Micromechanical Devices |Sammelwerk=Scientific American |Band=248 |Nummer=4 |Datum=1983 |Sprache=en |ISSN=0036-8733 |JSTOR=24968874 |Seiten=44–55}}</ref> Dabei bewegt sich die Größe der einzelnen Komponenten im Bereich von wenigen Mikrometern. Die Abgrenzung ist dabei zu den [[Nanosystem]]en zu sehen, welche sich eine weitere Größenordnung darunter befinden.
Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren [[Sensor]]en, [[Aktor]]en und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. [[die (Halbleitertechnik)|Chip]].<ref>{{Literatur |Autor=James B. Angell, Stephen C. Terry, Phillip W. Barth |Titel=Silicon Micromechanical Devices |Sammelwerk=Scientific American |Band=248 |Nummer=4 |Datum=1983 |Sprache=en |ISSN=0036-8733 |JSTOR=24968874 |Seiten=44–55}}</ref> Dabei bewegt sich die Größe der einzelnen Komponenten im Bereich von wenigen Mikrometern. Geräte und Systeme, die weitere [[Größenordnung (Länge)|Größenordnungen]] darunter liegen, bezeichnen sich als [[Nanosystem|Nanosysteme]] oder im Quantenbereich als [[Spintronik]].


Die [[Mikrosystemtechnik]] ist die Lehre von der Entwicklung der Mikrosysteme und von den Techniken zu deren Realisierung.
Die [[Mikrosystemtechnik]] ist die Lehre von der Entwicklung der Mikrosysteme, von den Techniken, Methoden und Prozessen zu deren Realisierung und Produktion.


== Begriff ==
=== Begriff ===
Hinsichtlich des Begriffs ''Mikrosystem'' gibt es in der englischsprachigen Literatur keine einheitlichen Begriffe. Allgemein wird im englischen das Stichwort ''Microsystems'' oder eine der folgenden Abkürzungen genutzt:<ref name=":2">{{Literatur |Autor=Andreas C. Fischer, Fredrik Forsberg, Martin Lapisa, Simon J. Bleiker, Göran Stemme, Niclas Roxhed, Frank Niklaus |Titel=Integrating MEMS and ICs |Sammelwerk=Microsystems & Nanoengineering |Band=1 |Nummer=1 |Datum=2015-05-28 |Sprache=en |ISSN=2055-7434 |DOI=10.1038/micronano.2015.5 |Seiten=1–16 |Online=https://www.nature.com/articles/micronano20155 |Abruf=2022-12-17}}</ref><ref>{{Literatur |Autor=Huikai Xie, Frederic Zamkotsian |Titel=Editorial for the Special Issue on Optical MEMS |Sammelwerk=Micromachines |Band=10 |Nummer=7 |Datum=2019-07-07 |Sprache=en |ISSN=2072-666X |DOI=10.3390/mi10070458 |PMID=31284629 |Seiten=458 |Online=https://www.mdpi.com/2072-666X/10/7/458 |Abruf=2022-12-17}}</ref>
Hinsichtlich des Begriffs ''Mikrosystem'' gibt es in der englischsprachigen Literatur keine einheitlichen Begriffe. Die einfache Übersetzung {{lang|en|''micro systems''}} wird kaum genutzt (wenn, dann im [[Europa|europäischen Raum]]). Verbreiteter sind die aus den [[Vereinigte Staaten|USA]] stammenden Begriffe {{lang|en|''microelectromechanical systems''}} und {{lang|en|''microoptoelectromechanical systems''}} beziehungsweise ihre ''griffigen'' Abkürzungen ''MEMS'' und ''MOEMS''. In asiatischen (vorrangig japanischen) Veröffentlichungen findet sich hingegen auch die „erweiterte“ Bezeichnung {{lang|en|''micromachines''}}.

* '''MEMS''' für {{lang|en|''micro-electro-mechanical systems''}} oder
* '''MOEMS''' (auch: MOMS) ''für {{lang|en|''micro-opto-electro-mechanical systems''}}''.
** Auch: {{lang|en|''Optical MEMS''}}
** Auch: {{lang|en|''Optical Microsystems''}}

Andere Begriffe, die im Zusammenhang stehen sind:

* {{lang|en|''Micromachines''}}
* '''NEMS''' für {{lang|en|''nano-electro-mechanical systems''}}


== Allgemeiner Aufbau ==
== Allgemeiner Aufbau ==
Mikrosysteme sind auf der [[Halbleitertechnik]] aufbauende Systeme, die um [[Mikromechanik|mechanische]], [[Mikrooptik|optische]], chemische (auch [[Mikrofluidik|Fluidik]]) oder biologische Komponenten und Funktionen erweitert sind.<ref>{{Literatur |Autor=Michael Huff |Titel=Introduction |Sammelwerk=Process Variations in Microsystems Manufacturing |Verlag=Springer International Publishing |Ort=Cham |Datum=2020 |Sprache=en |ISBN=978-3-030-40558-8 |DOI=10.1007/978-3-030-40560-1_1 |Seiten=1–8 |Online=http://link.springer.com/10.1007/978-3-030-40560-1_1 |Abruf=2022-12-17}}</ref> Dabei beschränken sich MEMS nicht nur auf [[Complementary metal-oxide-semiconductor|CMOS]]-Technologie und die damit realisierte [[Logikgatter|Logik]], wie in der [[Mikroelektronik]] üblich, sondern zeichnen sich durch spezifische Verfahren und Prozessschritte, wie z. B. den "[[Reaktives Ionentiefenätzen|Bosch-Prozess]]" oder [[LIGA (Fertigungsverfahren)|LIGA]] aus.<ref>{{Internetquelle |autor=Vera Dendler |url=https://www.bosch.com/de/stories/25-jahre-mems/ |titel=25 Jahre MEMS |hrsg=[[Robert Bosch GmbH]] |sprache=de |abruf=2022-12-17}}</ref> Mikrosysteme nutzen nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, [[Sol-Gel]]-Materialien, Kunststoffe und viele mehr. Häufig ist eine komplexe Integration mehrerer Komponenten mit Mikroelektronik gegeben,<ref name=":2" /> so dass ein Mikrosystem u. a. eine Sensoreinheit sowie Messtechnik (Signalverarbeitung) aufweist.<ref>{{Literatur |Autor=Ekbert Hering, Gert Schönfelder |Titel=Sensors in Science and Technology: Functionality and Application Areas |Verlag=Springer Fachmedien Wiesbaden |Ort=Wiesbaden |Datum=2022 |Sprache=en |ISBN=978-3-658-34919-6 |DOI=10.1007/978-3-658-34920-2 |Online=https://link.springer.com/10.1007/978-3-658-34920-2 |Abruf=2022-12-17}}</ref> Damit unterscheiden auch die Produktentwicklungszyklen von MEMS, wo Entwicklungslaufzeiten von bis zu fünf Jahre möglich sind.<ref>{{Literatur |Autor=Alissa M. Fitzgerald, Carolyn D. White, Charles C. Chung |Titel=The Opportunities and Challenges of MEMS Product Development |Sammelwerk=MEMS Product Development |Verlag=Springer International Publishing |Ort=Cham |Datum=2021 |Sprache=en |ISBN=978-3-030-61708-0 |DOI=10.1007/978-3-030-61709-7_1 |Seiten=3–8 |Online=http://link.springer.com/10.1007/978-3-030-61709-7_1 |Abruf=2022-12-17}}</ref> Spezialisierte MEMS-Hersteller bieten Foundry-[[Dienstleistung|Dienstleistungen]] im Sinne von [[Forschung und Entwicklung|F&E]] oder [[Produktion|Pilotlinien]] für MEMS an oder agieren als vollintegrierte Hersteller, die alle Leistungen inklusive Vermarktung anbieten, siehe dazu die Marktübersicht.
Mikrosysteme basierten früher auf der Halbleiterelektronik, damals war das Grundmaterial ([[Substrat (Materialwissenschaft)|Substrat]]) in der Regel [[Silizium]], aber auch [[Galliumarsenid]]. Die [[Mikroelektronik]] beschränkt sich auf elektrische Komponenten wie Transistoren (CPU) und [[Kondensator (Elektrotechnik)|Kondensatoren]] (RAM). Heute können Mikrosysteme auch preiswert aus Kunststoffen hergestellt werden, und die Ergebnisse im Bereich [[Materialforschung]] werden für multifunktionale Systeme genutzt. In der [[Mikrosystemtechnik]] sind die Möglichkeiten der Halbleiter-Werkstoffe erweitert um mechanische, optische, chemische und/oder biologische Komponenten und Funktionen.


== Vorteile ==
== Vorteile ==
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=== Mikrofone ===
=== Mikrofone ===
Es gibt [[Kondensatormikrofon]]e in Mikrosystemtechnik ({{enS|MEMS microphone}}), bei denen die die [[elektrische Kapazität]] ändernde Mikro[[Schwingungsmembran|membran]] direkt auf den [[Silizium]]-[[Wafer]] geätzt wird. Wenn die Ausleseelektronik mit einem [[Vorverstärker]] und einem [[Analog-Digital-Wandler]] direkt neben der Membran auf dem Wafer in einer [[Anwendungsspezifische integrierte Schaltung|anwendungsspezifischen integrierten Schaltung]] (ASIC) integriert wird (meist als Bauteile in [[Complementary Metal Oxide Semiconductor|CMOS]]-Technik) und das Mikrofon somit einen digitalen Ausgang besitzt, werden solche Geräte auch als ''[[Digitalmikrofon|digitale Mikrofone]]'' bezeichnet. Solche Mikrofone werden von Anbietern wie zum Beispiel von InvenSense (Sparte von [[Analog Devices]] gekauft<ref>[http://www.eetimes.com/document.asp?doc_id=1319798 Invensense Buys ADI's MEMS Mic Unit] vom 15. Oktober 2013</ref>), [[Infineon]], [[NXP Semiconductors]], [[Omron]] oder [[STMicroelectronics]] angeboten. Wegen der geringen Abmessungen, der geringen [[Leistungsaufnahme]], der guten [[Abschirmung (Elektrotechnik)|Abschirmung]] von [[Störsignal]]en und der kostengünstigen Produktion werden diese Mikrofone zunehmend in kleinen mobilen Geräten eingebaut, wie beispielsweise [[Smartphone]]s, [[Headset]]s, [[Hörgerät]]en oder [[Kamera]]s.<ref>{{Internetquelle |url=https://www.itwissen.info/MEMS-Mikrofon-MEMS-microphone.html |titel=MEMS microphone |werk=ITWissen.info |abruf=2022-01-20}}</ref><ref>St. John Dixon-Warren: [http://www.memsjournal.com/2011/03/overview-of-mems-microphone-technologies-for-consumer-applications.html Overview of MEMS microphone technologies for consumer applications], MEMS Journal, abgerufen am 14.&nbsp;August 2012.</ref>
Es gibt [[Kondensatormikrofon]]e in Mikrosystemtechnik ({{enS|MEMS microphone}}), bei denen die die [[elektrische Kapazität]] ändernde Mikro[[Schwingungsmembran|membran]] direkt auf den [[Silizium]]-[[Wafer]] geätzt wird. Wenn die Ausleseelektronik mit einem [[Vorverstärker]] und einem [[Analog-Digital-Wandler]] direkt neben der Membran auf dem Wafer in einer [[Anwendungsspezifische integrierte Schaltung|anwendungsspezifischen integrierten Schaltung]] (ASIC) integriert wird (meist als Bauteile in [[Complementary Metal Oxide Semiconductor|CMOS]]-Technik) und das Mikrofon somit einen digitalen Ausgang besitzt, werden solche Geräte auch als ''[[Digitalmikrofon|digitale Mikrofone]]'' bezeichnet. Solche Mikrofone werden von Anbietern wie zum Beispiel von [[InvenSense (Unternehmen)|InvenSense]] (Sparte von [[Analog Devices]] gekauft<ref name=":1">{{Internetquelle |autor=R. Colin Johnson |url=https://www.eetimes.com/invensense-buys-adis-mems-mic-unit/ |titel=Invensense Buys ADI's MEMS Mic Unit |werk=[[EE Times]] |datum=2013-10-15 |sprache=en |abruf=2022-12-17}}</ref>), [[Infineon]], [[NXP Semiconductors]], [[Omron]] oder [[STMicroelectronics]] angeboten. Wegen der geringen Abmessungen, der geringen [[Leistungsaufnahme]], der guten [[Abschirmung (Elektrotechnik)|Abschirmung]] von [[Störsignal]]en und der kostengünstigen Produktion werden diese Mikrofone zunehmend in kleinen mobilen Geräten eingebaut, wie beispielsweise [[Smartphone]]s, [[Headset]]s, [[Hörgerät]]en oder [[Kamera]]s.<ref>{{Internetquelle |url=https://www.itwissen.info/MEMS-Mikrofon-MEMS-microphone.html |titel=MEMS microphone |werk=ITWissen.info |abruf=2022-01-20}}</ref><ref>St. John Dixon-Warren: [http://www.memsjournal.com/2011/03/overview-of-mems-microphone-technologies-for-consumer-applications.html Overview of MEMS microphone technologies for consumer applications], MEMS Journal, abgerufen am 14.&nbsp;August 2012.</ref>


=== Oszillatoren ===
=== Oszillatoren ===
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=== Integrierte Hersteller mit MEMS-Produkten (Beispiele) ===
=== Integrierte Hersteller mit MEMS-Produkten (Beispiele) ===
Die Top-3 (Stand 2015) nach Umsatz (Analyse von [[IHS Markit]]) sind in Klammern markiert.<ref>{{Internetquelle |autor=R. Colin Johnson |url=https://www.eetimes.com/mems-market-ups-and-upstarts/ |titel=MEMS Market: Ups and Upstarts |hrsg=[[EE Times]] |datum=2015-11-24 |sprache=en |abruf=2022-12-16}}</ref>
Die Top-3 (Stand 2015) nach Umsatz (Analyse von [[IHS Markit]]) sind in Klammern markiert.<ref>{{Internetquelle |autor=R. Colin Johnson |url=https://www.eetimes.com/mems-market-ups-and-upstarts/ |titel=MEMS Market: Ups and Upstarts |hrsg=[[EE Times]] |datum=2015-11-24 |sprache=en |abruf=2022-12-16}}</ref>

''Hinweis: Die Liste erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit.''
* [[Ams-Osram|ams]]
* [[Ams-Osram|ams]]
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* [[Robert Bosch (Unternehmen)|Bosch Sensortec]]<ref>{{Internetquelle |autor=Stefani Munoz |url=https://www.eetimes.com/bosch-ups-investments-in-reutlingen-dresden-fabs/ |titel=Bosch Ups Investments in Reutlingen, Dresden fabs |werk=[[EE Times]] |datum=2022-02-24 |sprache=en |abruf=2022-12-06}}</ref> (1)
* [[Infineon]]
* [[Infineon]]
* [[Knowles Electronics (Unternehmen)|Knowles Electronics]]
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* [[HP Inc.|HP]]
* [[HP Inc.|HP]]
* [[Murata Seisakusho|Murata]]
* [[Murata Seisakusho|Murata]]
* [[Rohm]]
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* [[Robert Bosch (Unternehmen)|Robert Bosch GmbH]]<ref>{{Internetquelle |autor=Stefani Munoz |url=https://www.eetimes.com/bosch-ups-investments-in-reutlingen-dresden-fabs/ |titel=Bosch Ups Investments in Reutlingen, Dresden fabs |werk=[[EE Times]] |datum=2022-02-24 |sprache=en |abruf=2022-12-06}}</ref> (1)
* [[STMicroelectronics]] (3)
* [[STMicroelectronics]] (3)
* [[TDK]]
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=== Unternehmen oder Andere mit Spezialisierung in MEMS-Design und Produkten (Fabless) ===
=== Unternehmen oder Andere mit Spezialisierung in MEMS-Design und Produkten (Fabless) ===
''Hinweis: Die Liste erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit.''

* [[Broadcom]] (ehem. [[Broadcom Inc.|Avago]])
* [[Broadcom]] (ehem. [[Broadcom Inc.|Avago]])
* [[Cavendish Kinetics (Unternehmen)|Cavendish Kinetics]] (akquiriert von Qorvo)
* [[Cavendish Kinetics (Unternehmen)|Cavendish Kinetics]] (akquiriert von Qorvo)
* [[Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique|Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique]] (CSEM)
* [[Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique|Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique]] (CSEM)
* [[InvenSense (Unternehmen)|InvenSense]] (ehem. Teil von ADI)<ref name=":1" />


* [[NextInput (Unternehmen)|NextInput]] (akquiriert von Qorvo)
* [[NextInput (Unternehmen)|NextInput]] (akquiriert von Qorvo)
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=== MEMS-Foundry-Service Anbieter (Beispiele) ===
=== MEMS-Foundry-Service Anbieter (Beispiele) ===
''Hinweis: Die Liste erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit. Weitere Foundry-Anbieter können bspw. über die Interessensgesellschaften [[SEMI]] oder [[Silicon Saxony]] gefunden werden.''

* [[Atomica (Unternehmen)|Atomica]] (ehem. [[Innovative Micro Technology]] (IMT))
* [[Atomica (Unternehmen)|Atomica]] (ehem. [[Innovative Micro Technology]] (IMT))
* [[Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme|Fraunhofer IPMS]]
* [[Interuniversity Microelectronics Centre|imec]]
* [[Interuniversity Microelectronics Centre|imec]]
* [[Philips]]<ref>{{Internetquelle |url=https://www.engineeringsolutions.philips.com/looking-expertise/mems-micro-devices/mems-foundry/ |titel=MEMS Foundry |werk=Philips Engineering Solutions |sprache=en-US |abruf=2022-12-15}}</ref>
* [[Philips]]<ref>{{Internetquelle |url=https://www.engineeringsolutions.philips.com/looking-expertise/mems-micro-devices/mems-foundry/ |titel=MEMS Foundry |werk=Philips Engineering Solutions |sprache=en-US |abruf=2022-12-15}}</ref>
* [[Qorvo]]
* [[Qorvo]]
* [[Rohm]]<ref>{{Internetquelle |url=https://www.rohm.com/foundry-service |titel=Foundry Service |hrsg=[[Rohm]] |sprache=en |abruf=2022-12-17}}</ref>
* [[Teledyne Technologies|Teledyne]]<ref>{{Internetquelle |url=https://www.teledyneimaging.com/en/mems/ |titel=MEMS & Semiconductors {{!}} Teledyne Imaging |abruf=2022-12-16}}</ref>
* [[Teledyne Technologies|Teledyne]]<ref>{{Internetquelle |url=https://www.teledyneimaging.com/en/mems/ |titel=MEMS & Semiconductors {{!}} Teledyne Imaging |abruf=2022-12-16}}</ref>
* [[Tower Semiconductor|TowerJazz]]
* [[Tower Semiconductor|TowerJazz]]
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=== Verbände & Organisationen (Beispiele) ===
=== Verbände & Organisationen (Beispiele) ===


* [https://www.forschungsfabrik-mikroelektronik.de Forschungsfabrik Mikroelektronik] (FMD)
** ''Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik in Kooperation mit den Leibniz-Instituten FBH und IHP''
* IEEE [[Electron Devices Society]] (EDS)
* IEEE [[Electron Devices Society]] (EDS)
*
* [[Semiconductor Equipment and Materials International|SEMI]] [https://www.semi.org/en/communities/msig MEMS & Sensors Industry Group]
* [[Semiconductor Industry Association]] (SIA), USA
* [[Semiconductor Industry Association]] (SIA), USA
* [[Verein Deutscher Ingenieure|VDI]]/[[Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik|VDE]] Gesellschaft [https://www.vdi.de/tg-fachgesellschaften/vdi-mikroelektronik-mikrosystem-und-feinwertechnik Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik] (GMM)
* [[Verein Deutscher Ingenieure|VDI]]/[[Verband der Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik|VDE]] Gesellschaft [https://www.vdi.de/tg-fachgesellschaften/vdi-mikroelektronik-mikrosystem-und-feinwertechnik Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik] (GMM)
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=== Andere ===
=== Andere ===
* [[Journal of Microelectromechanical Systems]],<ref>{{Internetquelle |url=https://eds.ieee.org/publications/journal-of-microelectromechanical-systems |titel=Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE Electron Devices Society |sprache=en-gb |abruf=2022-12-06}}</ref> [[Institute of Electrical and Electronics Engineers|IEEE]] [[Electron Devices Society]]
* [[Journal of Microelectromechanical Systems]],<ref>{{Internetquelle |url=https://eds.ieee.org/publications/journal-of-microelectromechanical-systems |titel=Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE Electron Devices Society |sprache=en-gb |abruf=2022-12-06}}</ref> [[Institute of Electrical and Electronics Engineers|IEEE]] [[Electron Devices Society]]
* {{Internetquelle |url=https://www.i-micronews.com/the-mems-success-story-a-decade-of-evolving-strategies-leading-to-a-bright-mems-future-an-interview-with-bosch-sensortec-stmicroelectronics-and-yole-developpement/ |titel=The MEMS success story: a decade of evolving strategies leading to a bright MEMS future - An interview with Bosch Sensortec, STMicroelectronics and Yole Développement |werk=i-Micronews |datum=2021-10-28 |sprache=en |zugriff=2022-12-17}}
* {{Literatur
* {{Literatur
|Autor=Lars Voßkämper
|Autor=Lars Voßkämper
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== Weblinks ==
== Weblinks ==
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* {{Internetquelle |url=https://www.conrad.de/de/ratgeber/technik-einfach-erklaert/mems.html |titel=MEMS: Aufbau & Funktionsweise des Mikro-Chips erklärt |hrsg=[[Conrad Electronic]] |datum=2022-08-22 |zugriff=2022-12-06}}
* [http://www.elektronik-kompendium.de/sites/bau/1503041.htm Aufbau und Funktionsweise eines MEMS Beschleunigungssensors] (Elektronik-Kompendium.de)
* [http://www.elektronik-kompendium.de/sites/bau/1503041.htm Aufbau und Funktionsweise eines MEMS Beschleunigungssensors] (Elektronik-Kompendium.de)
* {{Internetquelle |autor=EDN |url=https://www.edn.com/bringing-mems-into-the-ic-design-flow/ |titel=Bringing MEMS into the IC design flow |werk=EDN |hrsg=EDN |datum=2010-05-21 |sprache=en |zugriff=2022-12-06}}
* {{Internetquelle |autor= |url=https://www.edn.com/bringing-mems-into-the-ic-design-flow/ |titel=Bringing MEMS into the IC design flow |werk=EDN |hrsg=[[Aspencore (Unternehmen)|AspenCore]] |datum=2010-05-21 |sprache=en |zugriff=2022-12-06}}
* {{Internetquelle |autor=John Widder, Alessandro Morcelli |url=http://www.elektroniknet.de/messen-testen/sensorik/artikel/120402/ |titel=Konstruktionsprinzipien von MEMS-Mikrofonen:: Klein und trotzdem gut |werk=[[Elektronik (Zeitschrift)]] |datum=2015-06-11 |zugriff=2022-12-06}}
* {{Internetquelle |autor=John Widder, Alessandro Morcelli |url=http://www.elektroniknet.de/messen-testen/sensorik/artikel/120402/ |titel=Konstruktionsprinzipien von MEMS-Mikrofonen:: Klein und trotzdem gut |werk=[[Elektronik (Zeitschrift)]] |datum=2015-06-11 |zugriff=2022-12-06}}
* [https://www.memsjournal.com/ MEMS Journal] (english)
* {{Internetquelle |autor=Stefani Munoz |url=https://www.eetimes.com/bosch-ups-investments-in-reutlingen-dresden-fabs/ |titel=Bosch Ups Investments in Reutlingen, Dresden fabs |werk=EE Times |datum=2022-02-24 |zugriff=2022-12-17}}
⚫
* {{Internetquelle |url=https://www.conrad.de/de/ratgeber/technik-einfach-erklaert/mems.html |titel=MEMS: Aufbau & Funktionsweise des Mikro-Chips erklärt |hrsg=[[Conrad Electronic]] |datum=2022-08-22 |zugriff=2022-12-06}}
* {{Internetquelle |autor=Sabine Spinnarke |url=https://www.produktion.de/technik/mems-kleine-intelligenzbestien-341.html |titel=MEMS – kleine Intelligenzbestien als Alleskönner |werk=Produktion Online |hrsg=[[Verlag moderne Industrie|verlag moderne industrie]] GmbH |datum=2022-12-15 |zugriff=2022-12-16}}
* {{Internetquelle |autor=Sabine Spinnarke |url=https://www.produktion.de/technik/mems-kleine-intelligenzbestien-341.html |titel=MEMS – kleine Intelligenzbestien als Alleskönner |werk=Produktion Online |hrsg=[[Verlag moderne Industrie|verlag moderne industrie]] GmbH |datum=2022-12-15 |zugriff=2022-12-16}}


Version vom 17. Dezember 2022, 13:50 Uhr

Ein Mikrosystem (englisch Microsystem oder MEMS) ist ein miniaturisiertes Gerät, eine Baugruppe oder ein Bauteil, dessen Komponenten kleinste Abmessungen im Bereich von 1 Mikrometer haben und als System zusammenwirken.[1]

Größenvergleich zwischen einer Milbe und einem Mikrosystem. Ohne Skala.

Üblicherweise besteht ein Mikrosystem aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. Chip.[2] Dabei bewegt sich die Größe der einzelnen Komponenten im Bereich von wenigen Mikrometern. Geräte und Systeme, die weitere Größenordnungen darunter liegen, bezeichnen sich als Nanosysteme oder im Quantenbereich als Spintronik.

Die Mikrosystemtechnik ist die Lehre von der Entwicklung der Mikrosysteme, von den Techniken, Methoden und Prozessen zu deren Realisierung und Produktion.

Begriff

Hinsichtlich des Begriffs Mikrosystem gibt es in der englischsprachigen Literatur keine einheitlichen Begriffe. Allgemein wird im englischen das Stichwort Microsystems oder eine der folgenden Abkürzungen genutzt:[3][4]

  • MEMS für micro-electro-mechanical systems oder
  • MOEMS (auch: MOMS) für micro-opto-electro-mechanical systems.
    • Auch: Optical MEMS
    • Auch: Optical Microsystems

Andere Begriffe, die im Zusammenhang stehen sind:

  • Micromachines
  • NEMS für nano-electro-mechanical systems

Allgemeiner Aufbau

Mikrosysteme sind auf der Halbleitertechnik aufbauende Systeme, die um mechanische, optische, chemische (auch Fluidik) oder biologische Komponenten und Funktionen erweitert sind.[5] Dabei beschränken sich MEMS nicht nur auf CMOS-Technologie und die damit realisierte Logik, wie in der Mikroelektronik üblich, sondern zeichnen sich durch spezifische Verfahren und Prozessschritte, wie z. B. den "Bosch-Prozess" oder LIGA aus.[6] Mikrosysteme nutzen nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr. Häufig ist eine komplexe Integration mehrerer Komponenten mit Mikroelektronik gegeben,[3] so dass ein Mikrosystem u. a. eine Sensoreinheit sowie Messtechnik (Signalverarbeitung) aufweist.[7] Damit unterscheiden auch die Produktentwicklungszyklen von MEMS, wo Entwicklungslaufzeiten von bis zu fünf Jahre möglich sind.[8] Spezialisierte MEMS-Hersteller bieten Foundry-Dienstleistungen im Sinne von F&E oder Pilotlinien für MEMS an oder agieren als vollintegrierte Hersteller, die alle Leistungen inklusive Vermarktung anbieten, siehe dazu die Marktübersicht.

Vorteile

Mikrosysteme bieten gegenüber konventionellen „Makrosystemen“ vor allem Vorteile in der Kostenersparnis (geringer Verbrauch an Werkstoffen, Parallel-Fertigung) und in der Effizienz (geringer Energie- und Leistungsbedarf ermöglicht autonome Systeme). Zudem bieten sie ein großes Funktionsspektrum, hohe Funktionsdichten, neue Funktionalität (Integration elektrischer und nichtelektrischer Funktionen). Durch die Integration und Miniaturisierung können „neue“ physikalische Effekte ausgenutzt werden, und die kurzen Informationswege führen zu kurzen Reaktionszeiten. Außerdem haben sie meist eine höhere Zuverlässigkeit als konventionelle Systeme, vor allem durch den Wegfall von Steckern und Kabeln.

Anwendungsgebiete

Mikromechanische Greifarme eines Nanomanipulationssystems

Der Einsatz von Mikrosystemen ist überall dort denkbar und sinnvoll, wo Sensoren/Aktoren und Elektronik zusammenarbeiten. Medizinprodukte sowie Produkte aus den Bereichen Sicherheitstechnik, Sport, Biowissenschaften und Logistik können mit Hilfe von Mikrosystemen vielseitiger, einfacher, intelligenter, kleiner und leistungsfähiger werden. Ein bekanntes Beispiel eines Mikrosystems aus der Forschung ist der noch nicht kommerziell erhältliche Millipede-Speicher von IBM (Stand April 2018).

Inertialsensoren

Eines der größten Anwendungsbereiche sind Inertialsensoren (Beschleunigungs- und Drehsensoren). In nahezu allen Smartphones sind ein oder mehrere Sensoren verbaut. Sie werden schon lange in Großserie gefertigt und werden unter anderem für die Auslösung von Airbags, für die Erkennung des freien Falles von Festplatten (für mobile Anwendungen) – sie erkennen hier, ob sich ein Gerät im freien Fall befindet, so dass der Lesekopf noch während des Sturzes in Parkposition gesetzt werden kann – oder als Lageerkennung in digitalen Fotokameras, Handhelds und modernen Eingabegeräten für Spielkonsolen genutzt. Ebenso werden sie in Foto- und Videokameras zur Realisierung mechanischer Bildstabilisatoren eingesetzt, um ein Verwackeln von Bildern zu vermeiden. Auch im Bereich ferngesteuerter Modelle werden die Sensoren in Form von Stabilisationssystemen eingesetzt.

Magnetometer

Elektronisches 3-Achsen-Magnetometer von AKM Semiconductor, in einem Motorola Xoom

Die Magnetometer erlauben es z. B. Smartphones und Smartwatches, die Anzeige eines Kompasses bzw. die automatische Orientierung von Karten. Durch Sensordatenfusion von einem Magnetometer und Beschleunigungssensor lassen sich die sechs Freiheitsgrade eines Gerätes erfassen.[9]

Optische Aktoren

Optische Anwendungen für Mikrosysteme sind beispielsweise Bausteine in Videoprojektoren, die zur Darstellung von Bildern genutzt werden (siehe Mikrospiegelaktor).

Mikrofluidik

Beispiele für Mikrosysteme aus der Mikrofluidik sind Bubble-Jet-Druckköpfe moderner Drucker oder Kunststoff-Lab-on-a-Chip-Systeme mit integrierten Ventilfunktionen. Mikroelektrische-Fluidsysteme sind in der Literatur auch als MEFS (engl. 'microelectrofluidic systems') bekannt.[10]

Mikrofone

Es gibt Kondensatormikrofone in Mikrosystemtechnik (englisch MEMS microphone), bei denen die die elektrische Kapazität ändernde Mikromembran direkt auf den Silizium-Wafer geätzt wird. Wenn die Ausleseelektronik mit einem Vorverstärker und einem Analog-Digital-Wandler direkt neben der Membran auf dem Wafer in einer anwendungsspezifischen integrierten Schaltung (ASIC) integriert wird (meist als Bauteile in CMOS-Technik) und das Mikrofon somit einen digitalen Ausgang besitzt, werden solche Geräte auch als digitale Mikrofone bezeichnet. Solche Mikrofone werden von Anbietern wie zum Beispiel von InvenSense (Sparte von Analog Devices gekauft[11]), Infineon, NXP Semiconductors, Omron oder STMicroelectronics angeboten. Wegen der geringen Abmessungen, der geringen Leistungsaufnahme, der guten Abschirmung von Störsignalen und der kostengünstigen Produktion werden diese Mikrofone zunehmend in kleinen mobilen Geräten eingebaut, wie beispielsweise Smartphones, Headsets, Hörgeräten oder Kameras.[12][13]

Oszillatoren

Ein weiteres Anwendungsgebiet sind MEMS-Oszillatoren als platzsparender Ersatz für Quarzoszillatoren. Solche MEMS-Oszillatoren werden von den Herstellern wie zum Beispiel SiTime oder SiliconLabs angeboten.

Lautsprecher

Ein noch relativ junger Anwendungsbereich für Mikrosysteme sind Lautsprecher. Erst in den vergangenen Jahren wurde die MEMS-Technologie für Lautsprecher verstärkt in die Betrachtung gezogen, obwohl bereits in den 1990er Jahren an Lautsprechern auf Basis der MEMS-Technologie geforscht wurde. Der erste piezoelektrische MEMS-Lautsprecher wurde im Jahr 1995 von Lee et al. vorgestellt. Weitere Ansätze stammen von Harradine et al. im Jahr 1996 mit einem elektrodynamischen MEMS-Lautsprecher sowie von Loeb et al. im Jahr 1999 mit einem zum Patent angemeldeten elektrostatischen MEMS-Lautsprecher. Seit den frühen 2000er Jahren forschen verschiedene Institute der Fraunhofer-Gesellschaft an Lautsprechern auf MEMS-Basis. Das Fraunhofer ISIT und Fraunhofer IPMS verfolgen innerhalb verschiedener Forschungsprojekte unterschiedliche technologische Ansätze, wobei das Fraunhofer IDMT als Entwicklungspartner für die Signalansteuerung der MEMS-Lautsprecher zuständig ist. Erste MEMS-Lautsprecher sind bereits auf dem Markt erhältlich und werden u. a. durch die Firma USound vertrieben.[14] Fokussiert werden vorerst insbesondere Anwendungsgebiete wie In-Ear-Kopfhörer, Hörgeräte .[15][16] Ein weiteres Anwendungsgebiet von MEMS-Lautsprechern stellen sogenannte Audio-Brillen dar, um das Audiosignal über die Luft zu übertragen und nicht über den Weg der Knochenschallleitung.[17]

Mikrobolometer

Mikrobolometer können auf Grundlage von MEMS-Prozessen erfolgen.[18] Mikrobolometer-Arrays können als Grundlage von Wärmebildkameras verwendet werden.

Drucksensoren

Prinzipskizze eines kapazitiven MEMS-Drucksensors. Der Umgebungsdruck verformt das Diaphragma und verändert so die Kapazität zwischen oberer und unterer Elektrode

Mittels MEMS können Drucksensoren und Barometer hergestellt werden. Das eigentliche Sensorelement kann resistiv[19] (Ausnutzung eine Änderung des elektrischen Widerstands) oder kapazitiv[20] (Ausnutzung eine Änderung der elektrischen Kapazität) sein.

Marktübersicht

Kennzahlen

Laut dem 8. Bericht Status of the MEMS Industry von Yole Développement existierten 2012 ca. 350 MEMS entwickelnde oder produzierende Unternehmen für ca. 200 verschiedene Anwendungen. Damals wurde erwartet, dass der MEMS-Markt laut Yole bis 2019 durchschnittlich im Volumen um 20 % und im Umsatz um 13 % pro Jahr auf 24 Mrd. US-Dollar wachsen würde.[21][22] Tatsächlich betrug der Marktumfang 2020 12,1 Mrd. US-Dollar mit einer erwarteten Entwicklung auf 18,2 Mrd. US-Dollar im Jahr 2026.[23]

Integrierte Hersteller mit MEMS-Produkten (Beispiele)

Die Top-3 (Stand 2015) nach Umsatz (Analyse von IHS Markit) sind in Klammern markiert.[24]

Hinweis: Die Liste erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit.

Unternehmen oder Andere mit Spezialisierung in MEMS-Design und Produkten (Fabless)

Hinweis: Die Liste erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit.

MEMS-Foundry-Service Anbieter (Beispiele)

Hinweis: Die Liste erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit. Weitere Foundry-Anbieter können bspw. über die Interessensgesellschaften SEMI oder Silicon Saxony gefunden werden.

Verbände & Organisationen (Beispiele)

Siehe auch

Literatur

Lehr- und Fachbücher

Andere

Weblinks

Einzelnachweise

  1. ↑ Jan G. Korvink, Oliver Paul: MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications. Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg 2006, ISBN 3-540-21117-9, doi:10.1007/978-3-540-33655-6 (englisch, springer.com [abgerufen am 6. Dezember 2022]).
  2. ↑ James B. Angell, Stephen C. Terry, Phillip W. Barth: Silicon Micromechanical Devices. In: Scientific American. Band 248, Nr. 4, 1983, ISSN 0036-8733, S. 44–55, JSTOR:24968874 (englisch).
  3. ↑ a b Andreas C. Fischer, Fredrik Forsberg, Martin Lapisa, Simon J. Bleiker, Göran Stemme, Niclas Roxhed, Frank Niklaus: Integrating MEMS and ICs. In: Microsystems & Nanoengineering. Band 1, Nr. 1, 28. Mai 2015, ISSN 2055-7434, S. 1–16, doi:10.1038/micronano.2015.5 (englisch, nature.com [abgerufen am 17. Dezember 2022]).
  4. ↑ Huikai Xie, Frederic Zamkotsian: Editorial for the Special Issue on Optical MEMS. In: Micromachines. Band 10, Nr. 7, 7. Juli 2019, ISSN 2072-666X, S. 458, doi:10.3390/mi10070458, PMID 31284629 (englisch, mdpi.com [abgerufen am 17. Dezember 2022]).
  5. ↑ Michael Huff: Introduction. In: Process Variations in Microsystems Manufacturing. Springer International Publishing, Cham 2020, ISBN 978-3-03040558-8, S. 1–8, doi:10.1007/978-3-030-40560-1_1 (englisch, springer.com [abgerufen am 17. Dezember 2022]).
  6. ↑ Vera Dendler: 25 Jahre MEMS. Robert Bosch GmbH, abgerufen am 17. Dezember 2022.
  7. ↑ Ekbert Hering, Gert Schönfelder: Sensors in Science and Technology: Functionality and Application Areas. Springer Fachmedien Wiesbaden, Wiesbaden 2022, ISBN 978-3-658-34919-6, doi:10.1007/978-3-658-34920-2 (englisch, springer.com [abgerufen am 17. Dezember 2022]).
  8. ↑ Alissa M. Fitzgerald, Carolyn D. White, Charles C. Chung: The Opportunities and Challenges of MEMS Product Development. In: MEMS Product Development. Springer International Publishing, Cham 2021, ISBN 978-3-03061708-0, S. 3–8, doi:10.1007/978-3-030-61709-7_1 (englisch, springer.com [abgerufen am 17. Dezember 2022]).
  9. ↑ https://embeddedcomputing.com/technology/analog-and-power/basics-of-6dof-and-9dof-sensor-fusion
  10. ↑ Cornelius T. Leondes (Hrsg.): MEMS/NEMS Handbook – Techniques and Application. 2006, ISBN 0-387-24520-0.
  11. ↑ a b R. Colin Johnson: Invensense Buys ADI's MEMS Mic Unit. In: EE Times. 15. Oktober 2013, abgerufen am 17. Dezember 2022 (englisch).
  12. ↑ MEMS microphone. In: ITWissen.info. Abgerufen am 20. Januar 2022.
  13. ↑ St. John Dixon-Warren: Overview of MEMS microphone technologies for consumer applications, MEMS Journal, abgerufen am 14. August 2012.
  14. ↑ Mike Klasco: The Impact of MEMS Speakers in Audio. audioXpress, 4. Februar 2020, abgerufen am 16. Dezember 2022 (englisch).
  15. ↑ In-Ear-Speaker. Abgerufen am 4. Dezember 2019.
  16. ↑ MEMS basierte Kopfhörer – Fraunhofer IPMS. Abgerufen am 4. Dezember 2019.
  17. ↑ Ulrike Kuhlmann: Schicke Audiobrille für komfortable Telefoncalls. In: heise online. Abgerufen am 10. November 2020.
  18. ↑ Are MEMS bolometers the next big thing? In: Coventor. Coventor, 8. April 2014, abgerufen am 28. November 2022.
  19. ↑ MEMS Pressure Sensor. April 2022, abgerufen am 28. November 2022.
  20. ↑ Silicon Capacitive MEMS Pressure Sensors. ES Systems, abgerufen am 28. November 2022.
  21. ↑ Yole Développement, E. Mounier: Future of MEMS: a Market & Technologies Perspective. (PDF) Oktober 2014, archiviert vom Original (nicht mehr online verfügbar) am 18. April 2017; abgerufen am 21. Januar 2022.
  22. ↑ Digikey, Artikel Bibliothek: MEMS-Sensoren: Anhaltende Nachfrage für Innovationsanwendungen
  23. ↑ STATUS OF THE MEMS INDUSTRY – MARKET UPDATE 2021. Yole Developpement, 2021, abgerufen am 20. Januar 2022.
  24. ↑ R. Colin Johnson: MEMS Market: Ups and Upstarts. EE Times, 24. November 2015, abgerufen am 16. Dezember 2022 (englisch).
  25. ↑ Stefani Munoz: Bosch Ups Investments in Reutlingen, Dresden fabs. In: EE Times. 24. Februar 2022, abgerufen am 6. Dezember 2022 (englisch).
  26. ↑ MEMS Foundry. In: Philips Engineering Solutions. Abgerufen am 15. Dezember 2022 (amerikanisches Englisch).
  27. ↑ Foundry Service. Rohm, abgerufen am 17. Dezember 2022 (englisch).
  28. ↑ MEMS & Semiconductors | Teledyne Imaging. Abgerufen am 16. Dezember 2022.
  29. ↑ Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE Electron Devices Society. Abgerufen am 6. Dezember 2022 (britisches Englisch).
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